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Intel setzt als erster Chipfertiger ASMLs neueste Lithografie-Systeme ein. Parallel läuft die Entwicklung größerer Masken.
Source: https://www.heise.de/news/Meilenstein-Intel-hat-eine-Million-Wafer-mit-High-NA-EUV-belichtet-11444419.html?wt_mc=rss.red.ho.ho.rdf.beitrag.beitrag
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